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Specialty Gas
특수가스는 공기 중에서 분리되는 가스를 제외한 가스들의 총칭으로 이들 특수가스들은 산업체 전반에 사용되어져 원료물질 생산으로부터 반도체 디바이스 생산 공정의 분위기가스, 공정용 가스, 식물 성장 촉진제등 다양한 용도로 사용되고 있다. 또한 이들 대부분의 특수가스들은 독성이거나 불에 쉽게 탈수 있는 가연성가스들로 취급 및 운송에 특별한 관리가 필요한 가스들이다.
Product List
| Dimethylamine (DMA) (CH3)2NH | Methyltrichlorosilane (MTS) CH3Cl3Si | TDMAT C8H24N4Ti | Trichlorosilane (TCS) SiCl3H |
